反滲透超純水設備是近階段制備超純水的主流設備之一，原水，經過預處理達到反滲透超純水設備進水水質要求，進入EDI模塊進行去離子處理。

   反滲透超純水設備將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。 EDI組件中將一定數量的EDI單元間用網狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設置陰/陽電。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進入到濃水室而在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統，成為濃水。

　　反滲透超純水設備一般以反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以高達18 MΩ.cm(25℃)，但是根據去離子水用途和系統配置設置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。